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    日本ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵

    簡要描述:
    日本ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵
    通過與干式真空泵、油旋轉真空泵或水封真空泵一起使用,機械增壓泵可以將抽速提高到 10kPa 至 0.1 Pa 之間,此時粗抽泵的抽速會下降?!癕odel:PRC" 專為特別需要清潔度的半導體和液晶顯示器工藝而設計??梢赃x擇大氣壓啟動類型作為選項。

    更新時間:2025-06-20

    訪問量:21

    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

    型號:PRC-003A

    品牌ULVAC/日本愛發(fā)科應用領域環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

    日本ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵

    日本ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵


    特征

    油 泵殼內(nèi)無油,即使在排出水蒸氣或溶劑蒸氣時也能保持穩(wěn)定的性能。

    屏蔽電機

    使用屏蔽電機可以避免在大氣和真空之間使用機械密封。它可以在清潔的環(huán)境中使用,無需擔心漏油。

    優(yōu)異的耐腐蝕性 表面處理

    主要部件的表面硬度和耐腐蝕性的陽極氧化涂層可以防止泵內(nèi)部的劃痕和腐蝕??梢赃x擇非表面處理作為選項。

    用于較短抽真空的常壓啟動型(選項:變頻器)與標準型相比,該類型可以縮短抽氣時間,因為泵與粗抽泵同時啟動。

    應用

    • 蒸發(fā)、濺射、離子電鍍、真空干燥機、冷凍干燥機、真空脫氣

    • 分析儀器、泄漏測試系統(tǒng)、氣體交換、填充、真空絕熱

    • 熱處理、熔化爐

    • 其他各種真空系統(tǒng)

    規(guī)格

    型號 *1PRC-003A 系列PRC-006A 系列PRC-012A 系列PRC-018A 系列
    最大抽速
    50 赫茲280米3/h
    (4670 升/分鐘)
    500 米3/h
    (8330 升/分鐘)
    1000 米3/h
    (16700 升/分鐘)
    1500米3/h
    (25000 升/分鐘)
    60 赫茲330 米3/h
    (5500 升/分鐘)
    600米3/h
    (10000 升/分鐘)
    1200米3/h
    (20000 升/分鐘)
    1800 米3/h
    (30000 升/分鐘)
    最大吸入
    壓力
    50 赫茲1.2 x 103帕1.3 x 103帕1.2 x 103帕
    60 赫茲約9.3 x 102帕1.1 x 103帕約9.3 x 102帕

    最大允許壓

    50 赫茲4.0 x 103帕7.3 x 103帕4.3 x 103帕
    60 赫茲3.3 x 103帕6.0 x 103帕3.2 x 103帕
    極限壓力 *24.0 x 10-1帕6.7 x 10-1帕
    允許的驅(qū)動壓力~1.0 x 105Pa(常壓啟動型)
    電機 *3電機類型Cand 三相感應電動機
    能效
    等級
    權力0.75 kW(2 極)2.2 kW(2 極)3.7 kW(2 極)5.5 kW(2 極)

    電壓
    (200V
    級)
    50 赫茲200 伏
    60 赫茲200/220 伏
    油 *4
    ULVOIL R-42
    油量0.7 升1.5 升1.9 升
    冷卻方式水冷
    冷卻
    一次側
    壓力
    0.3 米帕
    入口/出口
    壓力差異
    l 壓力
    體積
    0.01 Mpa以上
    冷卻水
    容量
    2 升/分鐘3 升/分鐘
    冷卻水
    溫度 *5
    5 ~ 30 °C
    入口 JIS-B-2290相當于 VG80 /
    ISO80F 或 ISO100F(可選)

    相當于 VG100 /
    ISO100F
    (可選)

    相當于 VG150 /
    ISO160F
    (可選)
    出口 JIS-B-2290相當于 VF80 / ISO80F 或 ISO100F(可選)
    相當于 VF100 /
    ISO100F
    (可選)
    尺寸 W×D×H *6296×575×260
    毫米
    356×619×320
    毫米
    406×759×340
    毫米
    406×989×340
    毫米
    重量51 千克86 千克118 千克150 千克
    標準粗抽泵VD601 系列VD901 系列
    VS2401 系列
    VS2401 系列
    適用標準-
    標準附件一劑油,一套手冊
    選擇無表面處理的泵、適配器法蘭、
    常壓啟動型(變頻器)、

    注)本規(guī)范使用 SI 測量單位。轉換為非 SI 單位如下:
    4.0 x 10-1 Pa = 3.0 x 10-3 Torr

    *1 標準型號為表面處理(陽極氧化涂層)。
    可選,無表面處理模型可供選擇。
    *2 使用標準前級泵和標準真空油的皮拉尼真空計測量。
    *3 防爆法蘭電機(增安型和隔爆型外殼型)
    無法選擇。
    *4 油選項 : 可選,氟油 (J25F) 類型可選擇。
    *5 在沒有冷凝的環(huán)境中使用。
    *6 有關其他尺寸,請訪問 ULVAC 網(wǎng)站并參考發(fā)布的 CAD 數(shù)據(jù)。

    抽速曲線

    PRC-003A/006A 系列日本ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵PRC-012A/018A 系列日本ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵


    尺寸圖

    日本ULVAC愛發(fā)科機械增壓泵

    PRC-003A 系列PRC-006A 系列PRC-012A 系列PRC-018A 系列
    W296356406406
    D575619759989
    H260320340340



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